MET ONE 3411 이동형 부유 미립자 계수기

방대한 양의 데이터를 저장할 수 있는 표면 구조가 급격히 감소함에 따라, 초소형 전자 기술 제조업체의 미립자 모니터링 기능이 점점 더 중요해지고 있습니다. MET ONE 3411 이동형 부유 미립자 계수기는 반도체 클린룸 모니터링, 프로세스 벤치마킹 및 미립자관련 문제 해결에 필요한 특수한 요구를 충족하도록 설계되었습니다.

ISO 1 및 2 환경에서 ISO 14464 클린룸 확인용 이동형 부유 미립자 계수기.

  • 0.1 미크론 민감도(0.1μm-5.0μm 범위)
  • Manifold 시스템을 사용한 순차적 샘플링
  • 미립자 영향을 최소화하기 위해 작동 중 팬 비활성화
  • 영역, 위치 및 작동 파라미터 구성/복제를 위한 간편한 인터페이스

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제품 특징

산업표준

• ISO 14644-1 Class 5 준수 샘플링
• 정확한 프로세스 벤치마킹 및 문제 해결을 위해 ISO 21501-4 교정표준을 준수

데이터 관리

• 무선, 이더넷, 시리얼 및 USB 통신
• 인쇄 또는 전자 데이터 출력
• 개방형 통신 아키텍처

작동

• 최대 6개의 미립자 크기 채널(28.3 LPM 유량(1.0 CFM))
• 순차 샘플링 기능
• 성능 향상 및 운영 비용 절감을 위한 수명이 긴 레이저 기술

작업

반도체 클린룸 분류 및 모니터링
지속적인 환경 모니터링
프로세스 문제 해결

기술문서

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