MET ONE 3411 이동형 부유 미립자 계수기

방대한 양의 데이터를 저장할 수 있는 표면 구조가 급격히 감소함에 따라, 초소형 전자 기술 제조업체의 미립자 모니터링 기능이 점점 더 중요해지고 있습니다. MET ONE 3411 이동형 부유 미립자 계수기는 반도체 클린룸 모니터링, 프로세스 벤치마킹 및 미립자관련 문제 해결에 필요한 특수한 요구를 충족하도록 설계되었습니다.

ISO 1 및 2 환경에서 ISO 14464 클린룸 확인용 이동형 부유 미립자 계수기.

  • 0.1 미크론 민감도(0.1μm-5.0μm 범위)
  • Manifold 시스템을 사용한 순차적 샘플링
  • 미립자 영향을 최소화하기 위해 작동 중 팬 비활성화
  • 영역, 위치 및 작동 파라미터 구성/복제를 위한 간편한 인터페이스

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제품 특징

산업표준

• ISO 14644-1 Class 5 준수 샘플링
• 정확한 프로세스 벤치마킹 및 문제 해결을 위해 ISO 21501-4 교정표준을 준수

데이터 관리

• 무선, 이더넷, 시리얼 및 USB 통신
• 인쇄 또는 전자 데이터 출력
• 개방형 통신 아키텍처

작동

• 최대 6개의 미립자 크기 채널(28.3 LPM 유량(1.0 CFM))
• 순차 샘플링 기능
• 성능 향상 및 운영 비용 절감을 위한 수명이 긴 레이저 기술

작업

반도체 클린룸 분류 및 모니터링
지속적인 환경 모니터링
프로세스 문제 해결

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Certified Calibration Services for MET ONE Calibration services flyer about audit-quality calibrations for your MET ONE air particle counter
Optimizing Workflow Efficiency of Cleanroom Routine Environmental Monitoring Whitepaper by author Tony Harrison, a Compliance and Applications Specialist for Beckman Coulter Life Sciences | Published 2017
MET ONE 3411 PORTABLE AIRBORNE PARTICLE COUNTER Introducing the MET ONE 3411 0.1 micron sensitivity portable airborne particle counter. Unlike many particle counters the MET ONE 3411 fan remains off when operating in a standard semiconductor cleanroom environment, thus particle generation is virtually eliminated.
MET ONE 3411 Air Particle Counter Brochure Brochure for the MET ONE 3411 air particle counter

기술문서

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