부유 미립자 계수기

부유 미립자 모니터링 시스템에서 정확한 데이터를 제공하는 클린룸용 원격 부유 미립자 계수기. ISO 14644, FDA cGMP 및 EU GMP Annex 1 준수

• 입자 크기 0.3µm 또는 0.5µm

• 유속 0.1cfm 또는 1.0cfm

• 내장 유량 센서

• ISO 21501-4 준수 정확도

원하는 시스템과 쉽게 통합되는 개방형 아키텍처 커뮤니케이션을 기반으로 하는 확장형 온라인 입도 모니터링 솔루션.

• 부유 미립자 계수기 세트
• 통합 소프트웨어
• ISO 21501 완벽 준수
• 21 CFR Part 11 준수
• 현장 서비스 옵션

MET ONE 3411 remote air particle counter for use with semiconductor, hard disk drive & flat panel display cleanrooms. In compliance with ISO 14644, FDA CGMP and EU GMP Annex 1.

• Particle size 0.5µm
• Flow rate 1.0 cfm
• Built-in flow sensor
• ISO 21501 accuracy

세척 및 훈증에 견고한 엔클로저가 포함된 원격 부유 미립자 계수기. cGMP/FDA 준수를 위한 고정밀 부유 미립자 모니터링.

• 입자 크기 0.3µm 또는 0.5µm
• 유속 0.1cfm 또는 1.0cfm
• 유량 센서 내장
• ISO 21501-4 정확한 준수

펌프형 원격 부유 미립자 계수기. 제약, 반도체. 하드 디스크 드라이브 및 평면 디스플레이 관련 클린룸용. ISO 14644, FDA cGMP 및 EU GMP Annex 1 준수

• 입자 크기 0.5µm
• 유속 1.0 cfm
• 내장 유량 센서
• ISO 21501 준수 정확도