MET ONE 6000 원격 부유 미립자 계수기
MET ONE 6000 부유 미립자 계수기는 제약, 반도체, 하드 디스크 드라이브 및 평면 디스플레이 산업에서 연속 미립자 모니터링을 위한 ISO 21501이 요구하는 정확도를 제공하며 클린룸 환경의 특정 요구를 충족시키는 유연한 측정 크기 조절, 유량 및 통신 옵션을 갖춘 소형 디자인 제품입니다. MET ONE 6000 원격 부유 미립자 계수기의 통합형 멀티파라미터 측정으로 초기 설치 비용을 줄일 수 있습니다.
- 업계를 선도하는 미립자 계수 온라인 데이터 신뢰성
- 모든 원격 부유 미립자 계수기의 응용분야에 대한 폭넓은 활용 가능
- 0.3µm 또는 0.5µm나 0.1cfm 또는 1.0cfm의 유연한 미립자 계수 크기
- 지속적인 모니터링에 적합한 수명이 긴 레이저 다이오드
- 모든 설비 모니터링 시스템과 통합 용이
- 시스템과 원활한 통신이 가능한 개방형 아키텍처 설계
- 기본 상태 표시등을 통해 시각적 알림을 구현하는 계수 알람 및 경고 기능
- 선택적 상대습도 및 온도 프로브가 RH/Temp 데이터를 동일한 데이터 스트림의 미립자 계수 데이터와 통합
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MET ONE 6000 원격 부유 미립자 계수기 제품 특징
ISO 14644 준수
- ISO21501 준수로 인하여 정확성 및 장비 간 재현성 구현
- 21 CFR Part 11 준수를 위한 데이터 보안
무균 클린룸 제조
- MET ONE 6000 원격 부유 미립자 계수기는 모든 무균 충진 클린룸의 고정된 위치에서의 환경모니터링 작업을 처리하도록 특별히 설계되었습니다.
- 21 CFR Part 11, FDA cGMP, 및 EU GMP Annex 11 준수
반도체 클린룸
- 반도체업계에서의 가장 정확한 부유 미립자 계수 측정은 ISO21501 교정표준을 따르는 것이며, 이는 생산품 수율 증가로 이어집니다.
평면 패널 및 하드 디스크 드라이브 클린룸
- 평면 패널 생산의 수율 증가 및 오염 우려 해소
- 업계 최고 수준의 고품질을 구현하는 동시에 비용절감에 적합한 미립자 계수기
제품 사양
| Performance | ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility |
| Industry Standards | ISO 21501-4 , ISO 14644-1:2015, FCC, CE |
| Light Source | Long Life Laser™ Diode |
| Coincidence Loss | 10% at 20,000,000 particles/m³ |
| Sample Volume | 10 µm |
| Throughput | 28.32 L per minute |
| Zero Count | ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 min; 95% UCL) |
| Count Alarms Display and Cycles | User-defined alarm counts displayed via LED on box or remote LED |
| Item Specifications Referenced | 2088615-DF-S |
기술문서
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